眾所周知,X-RAY檢測半導體的晶圓,典型檢測項目包括:鍵合線和鍵合區(qū)域的測試,3D IC焊點測試,包括微凸點、銅柱、硅通孔(TSV)。
德國YXLON X-RAY以成像清晰、穿透力強、做3D CT(斷層掃描)時間短、高分辨率和高放大倍數(shù)的特點,得到半導體業(yè)界的一致好評,廣為流傳,在國內(nèi)半導體行業(yè)市場占有率超過70%,德國YXLON X-RAY已成為半導體晶圓檢測的首選設備。
以下是檢測產(chǎn)品的實際圖片。
通過德國YXLON X-RAY檢查發(fā)現(xiàn)裂紋、開放焊點或空隙非常重要。此外,孔徑大小及其分布的測量也很關(guān)鍵。其中許多檢查都是自動執(zhí)行的,以改進生產(chǎn)過程。
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